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一:六氟化硫氣體貯存、擺放、使用中應注意的安全問題 1、六氟化硫新氣中可能存在一定量的毒性分解物，在使用六氟化硫新氣的過程中，要采取安全防護措施。制造廠提供的六氟化硫...

電子信息產業的快速發展為電子氣體等材料帶來了廣闊的市場空間，我國對其研發與產業化也給予了重點關注。在國家工業和信息化部發布的2008年度國家電子信息產業發展基金項目中，...

電子行業氣體，包含含氟蝕刻氣體主要用于干法蝕刻，干法蝕刻有效克服了濕法蝕刻的致命缺陷，已成為亞微米尺寸下蝕刻器件的最主要方法，廣泛應用于半導體或LCD前段制程。含氟蝕...

1.目的 為了便于工業管道內的物質識別，確保安全生產，避免在操作上、設備檢修上發生誤判斷等情況，結合公司的實際情況制定本規范。 2.適用范圍 本規范規定了工業管道的基本識別...

楊 彥 李 健 王 蔓 王 藝 楊 青 1 歷史沿革及理化性質 1900年由 Moissan和 Lebeau以硫在氟氣中燃 燒而始得六氟化硫 , 1930年 Schumb和 Gamble也 提出了六氟化硫的制造方法 , 英國于 1941年提出 了在...

2016年4月19-21日 中國.天津國際展覽中心(河西區友誼路32號) 主辦單位:中國國際貿易促進協會 天津裕華展覽服務有限公司 歐瑞普斯國際展覽(香港)有限公司 承辦單位:天津裕華展覽服務有...

題目 純三氟化氮(NF3)在集成電路、大型屏幕液晶顯示屏(TFT-LCD)的生產中，作為清洗劑之用。三氟化氮在潮濕的空氣中與水蒸氣能發生氧化還原反應，其反應的產物有：HF、NO和HNO3，請根據...

？到底有沒有沾“化”就搬的必要？中國化工報記者在采訪中感覺到，只有回答好這幾個問題，化企搬遷才能真正達到目的，才能使企業通過搬遷實現自我提升，從而與社會和諧相處。...

彭立培,王少波,李紹波 1 引言 NF3是近年來剛剛發展起來的一種新型電子材料,是信息產業中優良的等離子蝕刻和清洗氣體。NF3氣體用于干法刻蝕時,可提高晶片制造中的自動化水平,減輕勞...

其反應性與氧相當,在更高溫度時,NF3可離解成NF2游離基和氟原子F,其反應性也相當于F,從而成為強氧化劑,可以與許多物質如水、油脂等發生劇烈的反應。NF3用作氧化劑時,在發生反應的同時...