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公司動態
NF3與水蒸氣反應的產物
2015-11-18
題目 三氟化氮(NF3)是一種新型電子材料,它在潮濕的空氣中與水蒸氣能發生氧化還原反應,其反應的產物有:HF、NO和HNO3 ,請根據要求回答下列問題: (1)反應過程中,被氧化與被...
電子氣體國產化突破正當時
2015-11-17
“集成電路和平板顯示產業的強大必須依賴材料業的強大。我國的平板顯示產業已經崛起,雖然集成電路制造業還比較弱,但在國家的支持下很快會強大起來。在下游高歌猛進的時候,...
三氟化氮純化方法綜述
2015-11-13
彭立培,王少波,李紹波,付嫚 0引言 三氟化氮NF3是近年來發展迅速的一種微電子工業原料,是信息產業中優良的等離子蝕刻和清洗氣體。NF3氣體用于干法刻蝕時,可提高晶片制造中的...
三氟化氮萃取精餾工藝研究
2015-11-13
杜偉華 引言 三氟化氮在常溫常壓下是一種無色、無味、無毒且不燃的氣體,在350℃左右可分解成為二氟化氮和氟氣,其反應性質類似于氟;三氟化氮用作氧化劑時,可作為二氟化氮游離基的...
三氟化氮提純的幾種工藝
2015-11-12
全氟化合物廣泛應用于半導體的生產過程中,NF3最初是取代以前使用的溫室氣體(例如C2F6),用作等離子化學氣相沉積(chemicalvapordeposition,CVD)室的清洗氣體[1]。20世紀90年代后,它逐漸代替CF4(...
三氟化氮的毒理學資料及環境行為
2015-11-11
三氟化氮的毒理學資料及環境行為 急性毒性:LC5019000mg/m3,1小時(大鼠吸入);5600mg/m3,4小時(小鼠吸入) 刺激性:對皮膚、粘膜有刺激作用。 亞急性和慢性毒性:大鼠于308mg/m3濃度下,每...
三氟化氮應急處理處置方法
2015-11-09
一、三氟化氮泄漏應急處理 迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并進行隔離,嚴格限制出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源...
三氟化氮產品標準
2015-11-09
山東飛源科技有限公司三氟化氮質量指標如下: img src="/uploads/ago/zhibiao.jpg"...
六氟化硫全封閉組合電器(GIS)簡介
2015-11-07
六氟化硫封閉式組合電器,國際上稱為“氣體絕緣開關設備”,簡稱GIS。 它將一座變電站中除變壓器以外的一次設備,經優化設計有機地組合成一個整體。這些設備主要有:斷路器、隔...
六氟化硫變壓器(GIT)簡介
2015-11-07
六氟化硫變壓器,簡稱GIT,是一種具有良好發展前景的的變壓器。目前,變壓器主要向兩個方面發展:一是向特大型超高壓方面發展,另一是向節能化、小型化、低噪聲、高阻抗、防爆...
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